用户工具

站点工具

wenzhang:1902:bxq

基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪

白雪琪,廖琨,唐际杰,张谷令,邹斌
(中央民族大学 理学院,北京 100081)

  摘 要: 利用平行板电容器的原理设计了材料表面形貌测量仪,将探针与电容器下极板固连,当探针在不平整的样品表面扫描时,两极板间距发生改变而引起电容变化. 通过LabVIEW编程控制平移台蛇形移动,用平行板电容器厚度测试电路测量pF量级的电容改变值. 两极板初始距离为50~200 μm的工作范围内,测量误差稳定在2 μm. 通过实时捕捉探针的坐标和极板间距的变化量,该测量仪可以绘制出三维曲面图.
  关键词: 平行板电容器;表面形貌;厚度

  文章下载


wenzhang/1902/bxq.txt · 最后更改: 2019/04/02 10:34 由 guoweilw