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wenzhang:1607:azy

反应溅射法制备钒氧化物薄膜及电学性质的测量

安子烨,高伟哲,祝巍,张增明,孙腊珍
(中国科学技术大学 物理学院,安徽 合肥 230026)

  摘 要: 采用射频溅射法,通过控制通入真空腔中Ar和O2的比例来获得VOx薄膜. 由于V的氧化物众多,不同的氧分压会显著影响薄膜的组分. 实验结果表明:尽管在X射线衍射谱上没有观测到明显的VO2特征峰,但在氧气的比例为40%~50%时样品具有很大的电阻温度系数.
  关键词: 二氧化钒;射频溅射;相变
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wenzhang/1607/azy.txt · 最后更改: 2016/07/27 18:12 由 guoweilw